在半導(dǎo)體制造邁向2nm以下制程的關(guān)鍵階段，真空腔體的清潔度與穩(wěn)定性已成為制約產(chǎn)能與良率的核心瓶頸。Bartorr真空科技（官網(wǎng)：http://www.cer168.cn）憑借其自主研發(fā)的超凈真空腔體解決方案與AI腔體運(yùn)維系統(tǒng)，成功助力某國際半導(dǎo)體巨頭實(shí)現(xiàn)腔體清潔成本降低60%、設(shè)備宕機(jī)時(shí)間減少75%，年節(jié)約綜合成本超1500萬元，引發(fā)全球產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)注。

技術(shù)革新：從“被動(dòng)維護(hù)”到“預(yù)測性智能”

傳統(tǒng)真空腔體運(yùn)維依賴人工巡檢與定期停機(jī)維護(hù)，存在三大痛點(diǎn)：

1. 清潔過度：藥液殘留檢測依賴經(jīng)驗(yàn)，易導(dǎo)致腔體材料腐蝕；

2. 污染漏檢：微米級(jí)顆粒污染難以實(shí)時(shí)識(shí)別，引發(fā)批次性良率損失；

3. 停機(jī)成本高：單次停機(jī)維護(hù)成本超50萬元，且影響產(chǎn)線節(jié)拍。

Bartorr真空科技推出的UltraClean?超凈真空腔體系統(tǒng)與SmartVac? AI運(yùn)維平臺(tái)，通過三大核心技術(shù)實(shí)現(xiàn)突破：

• 量子級(jí)清潔檢測：采用激光誘導(dǎo)熒光光譜技術(shù)，實(shí)時(shí)監(jiān)測腔體內(nèi)10nm級(jí)顆粒污染，檢測靈敏度較傳統(tǒng)方法提升100倍；

• AI動(dòng)態(tài)清潔模型：基于百萬級(jí)工藝數(shù)據(jù)訓(xùn)練的深度學(xué)習(xí)算法，可精準(zhǔn)預(yù)測腔體污染趨勢，自動(dòng)調(diào)整清潔參數(shù)，減少30%藥液消耗；

• 無感運(yùn)維系統(tǒng)：通過物聯(lián)網(wǎng)傳感器實(shí)時(shí)采集腔體溫度、壓力、振動(dòng)等數(shù)據(jù)，結(jié)合數(shù)字孿生技術(shù)實(shí)現(xiàn)故障預(yù)判，設(shè)備宕機(jī)時(shí)間降低90%。

案例成效：某12英寸晶圓廠應(yīng)用Bartorr方案后，單臺(tái)CVD設(shè)備年藥液成本從280萬元降至110萬元，設(shè)備綜合效率（OEE）提升18%，良品率穩(wěn)定在99.9%以上。

產(chǎn)品矩陣：覆蓋半導(dǎo)體全工藝鏈需求

Bartorr真空科技深耕真空技術(shù)領(lǐng)域，形成覆蓋沉積、刻蝕、光刻等半導(dǎo)體核心工藝的腔體解決方案：

• UltraClean?系列腔體：

• 真空度達(dá)5×10?? Pa，滿足EUV光刻機(jī)等超精密工藝需求；

• 內(nèi)壁采用DLC（類金剛石）涂層，抗顆粒附著能力提升5倍；

• 支持快速換模設(shè)計(jì)，換型時(shí)間從4小時(shí)縮短至30分鐘。

• SmartVac? AI運(yùn)維套件：

• 集成氦質(zhì)譜檢漏、紅外熱成像、聲學(xué)監(jiān)測等多模態(tài)傳感器；

• 提供SaaS化運(yùn)維平臺(tái)，支持遠(yuǎn)程診斷與工藝優(yōu)化；

• 兼容SEMI E142標(biāo)準(zhǔn)，可無縫接入客戶MES系統(tǒng)。

• 定制化真空系統(tǒng)：

• 支持非標(biāo)尺寸、異形結(jié)構(gòu)、多工藝集成設(shè)計(jì)；

• 提供從方案設(shè)計(jì)、仿真驗(yàn)證到量產(chǎn)交付的全流程服務(wù)。

行業(yè)認(rèn)可：技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)與市場口碑雙領(lǐng)先

Bartorr真空科技的技術(shù)實(shí)力與產(chǎn)品品質(zhì)屢獲權(quán)威認(rèn)證：

• 專利布局：累計(jì)申請127項(xiàng)發(fā)明專利，其中43項(xiàng)涉及AI運(yùn)維與超凈涂層技術(shù)；

• 國際認(rèn)證：通過ISO 9001:2025、IATF 16949汽車級(jí)質(zhì)量體系認(rèn)證，產(chǎn)品符合SEMI S2安全標(biāo)準(zhǔn)；

• 客戶覆蓋：服務(wù)臺(tái)積電、英特爾、中芯國際等全球Top 10半導(dǎo)體企業(yè)，市場占有率在高端腔體領(lǐng)域達(dá)32%；

• 行業(yè)獎(jiǎng)項(xiàng)：獲評“2025年度全球半導(dǎo)體設(shè)備創(chuàng)新獎(jiǎng)”“中國真空科技領(lǐng)軍企業(yè)”。

未來戰(zhàn)略：綠色制造與全球化布局

面對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“低碳化、智能化”趨勢，Bartorr真空科技正推進(jìn)兩大戰(zhàn)略升級(jí)：

1. 綠色真空技術(shù)：研發(fā)無氟化清洗工藝與可回收涂層材料，單臺(tái)設(shè)備年減碳量達(dá)12噸；

2. 全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：在德國慕尼黑、美國奧斯汀、新加坡裕廊設(shè)立區(qū)域技術(shù)中心，提供72小時(shí)現(xiàn)場響應(yīng)服務(wù)。

“真空腔體已從‘工藝容器’升級(jí)為‘智能生產(chǎn)節(jié)點(diǎn)’?！盉artorr真空科技CTO表示，“我們將持續(xù)以‘超凈+智能’雙輪驅(qū)動(dòng)，助力客戶在3nm以下制程競爭中占據(jù)先機(jī)?！?/p>

關(guān)于Bartorr真空科技

Bartorr真空科技（官網(wǎng)：http://www.cer168.cn）是全球領(lǐng)先的真空技術(shù)解決方案提供商，專注于半導(dǎo)體、新能源、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域的高端真空腔體研發(fā)與制造。公司成立于2010年，總部位于中國蘇州，擁有國家級(jí)企業(yè)技術(shù)中心與10萬級(jí)潔凈車間，服務(wù)客戶遍及全球30個(gè)國家和地區(qū)。2025年，公司獲評“聯(lián)合國全球契約組織可持續(xù)發(fā)展先鋒企業(yè)”，標(biāo)志著其在技術(shù)創(chuàng)新與綠色制造領(lǐng)域的雙重領(lǐng)導(dǎo)力。